Kako radi magnetronsko raspršivanje?
Magnetronsko raspršivanje je metoda fizičkog taloženja iz parne pare (PVD), klasa procesa taloženja u vakuumu za proizvodnju tankih filmova i premaza.
Naziv "magnetronsko raspršivanje" proizlazi iz upotrebe magnetskih polja za kontrolu ponašanja nabijenih ionskih čestica u procesu magnetronskog raspršivanja.Proces zahtijeva visokovakuumsku komoru za stvaranje okruženja niskog tlaka za raspršivanje.Plin koji sadrži plazmu, obično plin argon, prvi ulazi u komoru.
Visoki negativni napon primjenjuje se između katode i anode kako bi se pokrenula ionizacija inertnog plina.Pozitivni ioni argona iz plazme sudaraju se s negativno nabijenim materijalom mete.Svaki sudar visokoenergetskih čestica može uzrokovati izbacivanje atoma s ciljne površine u vakuumsko okruženje i tjeranje na površinu supstrata.
Snažno magnetsko polje stvara visoku gustoću plazme zadržavajući elektrone blizu ciljne površine, povećavajući brzinu taloženja i sprječavajući oštećenje supstrata ionskim bombardiranjem.Većina materijala može djelovati kao meta za proces raspršivanja budući da magnetronski sustav raspršivanja ne zahtijeva taljenje ili isparavanje izvornog materijala.
Parametri proizvoda
Naziv proizvoda | Meta od čistog titana |
Razred | Gr1 |
Čistoća | Više 99,7% |
Gustoća | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 komada |
Hot sale veličina | Φ95*40mm Φ98*45 mm Φ100*40mm Φ128*45 mm |
Primjena | Premaz za PVD stroj |
Veličina zaliha | Φ98*45 mm Φ100*40mm |
Ostale dostupne mete | Molibden (Mo) Krom (Cr) TiAl Bakar (Cu) Cirkonij (Zr) |
Primjena
■Premazivanje integriranih krugova.
■Površinski zasloni ravnih ploča i drugih komponenti.
■Dekoracija i oblaganje stakla itd.
Koje proizvode možemo proizvoditi
■Ravna meta od titana visoke čistoće (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Standardni navojni spoj za jednostavnu ugradnju (M90, M80)
■Samostalna proizvodnja, pristupačna cijena (kvaliteta kontrolirana)
Informacije o narudžbi
Upiti i narudžbe trebaju sadržavati sljedeće podatke:
■ Promjer, visina (kao što je Φ100 * 40 mm).
■ Veličina navoja (kao M90*2 mm).
■ Količina.
■ Zahtjev za čistoćom.