Metoda isparavanja elektronskim snopom vrsta je premaza vakuumskim isparavanjem, koji koristi elektronske zrake za izravno zagrijavanje materijala za isparavanje u uvjetima vakuuma, isparavanje materijala za isparavanje i transport do podloge, te kondenzaciju na podlozi za stvaranje tankog filma.U uređaju za grijanje elektronskim snopom, zagrijana tvar se stavlja u vodom hlađeni lončić, čime se može izbjeći reakcija između materijala za isparavanje i stijenke lončića i utjecati na kvalitetu filma.U uređaj se može staviti više lonaca kako bi se postiglo istovremeno ili odvojeno isparavanje i taloženje različitih tvari.Isparavanjem elektronskim snopom može se ispariti bilo koji materijal.
Isparavanje snopa elektrona može ispariti materijale s visokim talištem.U usporedbi s općim otpornim grijanjem isparavanjem, ima veću toplinsku učinkovitost, veću gustoću struje snopa i veću brzinu isparavanja.Film i film od raznih optičkih materijala kao što je vodljivo staklo.
Karakteristika isparavanja elektronskim snopom je da ne pokriva ili rijetko pokriva dvije strane ciljne trodimenzionalne strukture i obično se samo taloži na površini cilja.Ovo je razlika između isparavanja elektronskim snopom i raspršivanja.
Isparavanje snopom elektrona obično se koristi u području istraživanja i industrije poluvodiča.Ubrzana energija elektrona koristi se za udar u materijalnu metu, uzrokujući isparavanje i podizanje materijalne mete.Na kraju se taloži na meti.
Vrijeme objave: 2. prosinca 2022